半导体领域:占比 28%,用于晶圆制造的金属互联层与钝化层沉积,在第三代半导体器件制造中的渗透率持续攀升,如氮化镓功率器件就需要使用铟靶。
粉末冶金法:将铟氧化物和锡氧化物粉末均匀混合,随后进行预烧结,以获得初步的靶材结构。预烧结步骤通常在相对低温下进行,目的是通过部分熔融促进粉末颗粒的结合,同时防止过早的晶粒长大。粉体粒径分布的控制是该方法中的关键一环。
纯度分级:
4N 精铟:纯度≥99.99%,主要用于普通电子元器件及靶材原料。
5N-6N 精铟:纯度≥99.999%-99.9999%,用于高端半导体、光电材料等领域。
合金与特殊材料(占比约 10%):
铟锡合金:熔点低至 120℃,用于保险丝、牙科材料;铟铅合金可作为核反应堆的中子吸收材料。
铟箔与涂层:高纯铟箔用于真空密封、辐射屏蔽(如 X 射线探测器),或作为耐腐蚀涂层(如海洋工程)。
科研与新兴领域:
量子点显示、钙钛矿电池、柔性电子器件等前沿技术中,精铟作为高纯原料用于薄膜沉积或材料合成。