超高密度成型:超高密度成型工艺(≥99.5%)可使靶材具有更好的性能,提高在真空溅射过程中的稳定性和使用寿命。
晶粒定向控制:晶粒定向控制技术能够控制铟靶的晶粒尺寸和方向,提升溅射薄膜的质量和性能,满足高端应用领域的需求。
良好的机械和热学特性:硬度较高,在研磨、抛光过程中不易被划伤,保证了薄膜表面的平整性;同时能够承受较高的温度而不发生分解或结构破坏,在高温环境中的抗裂性和耐用性良好,确保了薄膜在溅射和高温条件下的稳定性。
热等静压(HIP)工艺:在高温和高压环境下进行烧结,能够显著提高材料的致密度,减少材料中的孔隙,改善材料的微观结构,使得 ITO 靶材具有更高的电导率和机械强度,但该工艺成本较为昂贵。
精铟是指纯度的金属铟,通常纯度在 99.99%(4N)以上,高纯度规格可达 99.9999%(6N)甚至更高.精铟是通过精炼工艺去除铟原料中的杂质(如铅、锌、镉、锡等)后得到的高纯度金属,呈银白色光泽,质地柔软,具有良好的延展性和导电性。