超高密度成型:超高密度成型工艺(≥99.5%)可使靶材具有更好的性能,提高在真空溅射过程中的稳定性和使用寿命。
晶粒定向控制:晶粒定向控制技术能够控制铟靶的晶粒尺寸和方向,提升溅射薄膜的质量和性能,满足高端应用领域的需求。
主要成分:通常由 90% 的氧化铟(In₂O₃)和 10% 的氧化锡(SnO₂)组成,这一比例在实际应用中能实现透明性和导电性的理想平衡。
外观特性:在靶材形态下,颜色通常为浅黄色至浅绿色,而制成薄膜后则具有透明性。
良好的导电性:ITO 薄膜的电阻率可达 10⁻⁴Ω・cm,具有较低的电阻和较高的载流子浓度,能够有效地传输电流,满足各种电子设备的导电需求。
纯度分级:
4N 精铟:纯度≥99.99%,主要用于普通电子元器件及靶材原料。
5N-6N 精铟:纯度≥99.999%-99.9999%,用于高端半导体、光电材料等领域。